拓荊科技股份有限公司成立于2010年4月,是國家技術(shù)企業(yè),主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)。公司在北京、上海、海寧、沈陽、美國成立子公司。公司主要產(chǎn)品包括等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備、原子層沉積(ALD)設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積(SACVD)設(shè)備三個產(chǎn)品系列,擁有自主知識產(chǎn)權(quán),技術(shù)指標(biāo)達到國際同類產(chǎn)品先進水平,公司產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓制造,以及TSV封裝、光