耗資1102.5萬美元，晶瑞股份ArF浸沒式光刻機順利搬入實驗室

根據(jù)蘇州晶瑞化學(xué)股份有限公司（以下簡稱“晶瑞股份”）旗下的官方微信公眾號“晶瑞化學(xué)”發(fā)布信息顯示，1月19日，晶瑞股份購買的ArF浸沒式光刻機順利搬入實驗室，當(dāng)天晶瑞股份還舉辦了ArF光刻機搬入慶祝儀式。

早在去年9月28日晚間，晶瑞股份就曾發(fā)布公告稱，將開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目。為此，晶瑞股份擬通過Singtest Technology PTE. LTD.進口韓國SK Hynix的ASML光刻機設(shè)備，總價款為1102.5萬美元（折合7508萬人民幣）。受此消息影響，晶瑞股份次日股價也成功漲停，上漲19.99%，報收于42.86元。

“晶瑞化學(xué)”發(fā)布信息也顯示，這臺ArF型浸入光刻機型號為ASML XT 1900 Gi，已于2020年11月19日從原廠斷電停機，并于2021年1月19日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室。下一步，晶瑞股份將積極組織相關(guān)資源，盡快完成設(shè)備的安裝調(diào)試工作。

據(jù)介紹，這臺光刻機可用于研發(fā)最高分辨率達28nm的高端光刻膠。目前晶瑞股份完成中試的KrF光刻膠已進入客戶測試階段，達到0.15μm的分辨率。

晶瑞股份表示，本次光刻機的順利入駐可以保障公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)先進性，對加快產(chǎn)品研發(fā)項目進度有積極影響，有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實現(xiàn)到 ArF 光刻膠的跨越，并最終實現(xiàn)應(yīng)用于 12 英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。有利于進一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力，對于提高公司可持續(xù)發(fā)展能力具有重大意義。

受此消息影響，20日晶瑞股份的股價一度上漲超過13%，隨后沖高回落，最終收盤上漲3.36%。

編輯：芯智訊-林子