布局光刻機(jī)核心器件，華為哈勃投資入股科益虹源

6月4日消息，根據(jù)企查查的資料顯示，國內(nèi)高端準(zhǔn)分子激光技術(shù)廠商北京科益虹源光電技術(shù)有限公司（以下簡稱“科益虹源”）發(fā)生工商信息變更，新增華為旗下的哈勃科技投資有限公司（以下簡稱“哈勃投資”）、徐州光遠(yuǎn)股權(quán)投資合伙企業(yè)（有限合伙）及自然人江銳成為公司股東，同時(shí)注冊資金由12000萬元提升至20160萬元，增幅達(dá)68%。其中，哈勃投資持股4.7619%。

資料顯示，科益虹源成立于2016年7月，由中國科學(xué)院微電子所、亦莊國投、國科科儀等共同出資設(shè)立。隨著2018年3月科益虹源自主設(shè)計(jì)開發(fā)的國內(nèi)首臺(tái)高能準(zhǔn)分子激光器順利出貨，打破了國外廠商的長期壟斷?？埔婧缭匆渤蔀榱酥袊ㄒ弧⑹澜绲谌揖邆?93nm ArF準(zhǔn)分子激光技術(shù)研究和產(chǎn)品化的公司。

科益虹源還承擔(dān)了“02重大專項(xiàng)浸沒光刻光源研發(fā)”、“02重大專項(xiàng)核心零部件國產(chǎn)化能力建設(shè)”、“02重大專項(xiàng)集成電路晶圓缺陷檢測光源”等國家專項(xiàng)。

此外，科益虹源也是國產(chǎn)光刻機(jī)廠商上海微電子的光源系統(tǒng)供應(yīng)商。此前消息也顯示，科益虹源還將與上海微電子整機(jī)單位共同完成28nm國產(chǎn)光刻機(jī)的集成工作。

而此次華為旗下的哈勃投資入股科益虹源，似乎也正是為了加碼布局光刻機(jī)領(lǐng)域的研發(fā)。

自去年華為被美國實(shí)施第二輪制裁，使得華為自研芯片無法制造之后，業(yè)內(nèi)就一直有傳聞稱華為在自建半導(dǎo)體產(chǎn)線，并已開始研發(fā)半導(dǎo)體產(chǎn)線所必須的關(guān)鍵設(shè)備——光刻機(jī)。此前曝光的招聘信息也顯示，華為正在招募光刻機(jī)研發(fā)人才。去年，芯智訊還曾獨(dú)家爆料，華為到多家半導(dǎo)體設(shè)備廠挖人的消息。

但是，造光刻機(jī)并不是一件簡單的事情，系統(tǒng)集成只是一方面，更為關(guān)鍵的是，其中需要用到非常多的關(guān)鍵器件，而這并不是一家或幾家廠商就能搞定的。

即便是國產(chǎn)光刻機(jī)龍頭上海微電子，其自2002年成立至今也有了近20年的光刻機(jī)研發(fā)歷史，但是其已量產(chǎn)的90nm光刻機(jī)也僅僅是ASML十多年前的水平。而這樣一款并不先進(jìn)的90nm光刻機(jī)，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)也是非常之復(fù)雜，很多關(guān)鍵器件也都是由第三方供應(yīng)的。

上海微電子總經(jīng)理賀榮明曾表示：“SMEE最好的光刻機(jī)（90nm分辨率的光刻機(jī)），包含13個(gè)分系統(tǒng)，3萬個(gè)機(jī)械件，200多個(gè)傳感器，每一個(gè)都要穩(wěn)定。像歐洲冠軍杯決賽，任何一個(gè)人發(fā)揮失常就要輸球。”

而ASML的EUV光刻機(jī)則擁有超過10萬個(gè)零件，更是極為復(fù)雜，對誤差和穩(wěn)定性的要求極高，并且這些零件幾乎都是定制，90%零件都采用的是世界上最先進(jìn)技術(shù)，甚至一些接口都要工程師用高精度機(jī)械進(jìn)行打磨，尺寸調(diào)整次數(shù)更可能高達(dá)百萬次以上。

顯然，華為如果真要自研光刻機(jī)，前提必須是光刻機(jī)的關(guān)鍵器件都能夠?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)化突破。

而對于光刻機(jī)來說，光源無疑是一大核心器件。華為通過旗下投資公司入股國產(chǎn)光刻機(jī)光源供應(yīng)商科益虹源，似乎也正是為了助力光刻機(jī)相關(guān)核心器件的突破，以便后續(xù)為其自研光刻機(jī)鋪路。

編輯：芯智訊-浪客劍