沈陽科儀

創(chuàng)建于1958年，主要從事干式真空泵、真空儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，并提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)，產(chǎn)品主要包括系列羅茨干泵、系列渦旋干泵、大科學(xué)裝置、真空薄膜儀器設(shè)備和新材料制備設(shè)備等

中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（以下簡稱“公司”）創(chuàng)建于1958年，公司總部位于遼寧省沈陽市渾南區(qū)，占地面積110畝，建筑面積3.5萬平方米。多年來，公司專注于高真空、超高真空、超潔凈真空技術(shù)的研究和發(fā)展，是我國集成電路裝備和真空儀器設(shè)備的研制、生產(chǎn)基地，先后組建“國家分子束外延技術(shù)開發(fā)實(shí)驗(yàn)基地”、“國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心”和“真空技術(shù)裝備國家工程研究中心”等科研平臺。

公司主要從事干式真空泵、真空儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，并提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)。公司產(chǎn)品主要包括系列羅茨干泵、系列渦旋干泵、大科學(xué)裝置、真空薄膜儀器設(shè)備和新材料制備設(shè)備等。公司承擔(dān)了國家“863計(jì)劃”、“02專項(xiàng)”、“國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃”等國家級科技專項(xiàng)，并通過自主研發(fā)創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)干式真空泵在集成電路領(lǐng)域的批量應(yīng)用，打破了歐美及日本企業(yè)對同類產(chǎn)品的長期壟斷，實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵裝備的進(jìn)口替代。公司長期致力于高端科研儀器設(shè)備的研發(fā)制造，為我國重大科技基礎(chǔ)設(shè)施的建設(shè)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。在真空鍍膜領(lǐng)域，公司研發(fā)形成了磁控濺射、離子束濺射、電子束蒸發(fā)、高溫真空無油潤滑、高性能高穩(wěn)定性束源爐、復(fù)合鍍膜等多項(xiàng)技術(shù)。通過多年的研發(fā)創(chuàng)新，公司現(xiàn)已開發(fā)完成第六代分子束外延設(shè)備。

公司先后獲得國家科技進(jìn)步獎(jiǎng)6項(xiàng)，中國科學(xué)院及省部級科技進(jìn)步獎(jiǎng)20項(xiàng)，擁有專利71項(xiàng)，被認(rèn)定為國家第二批專精特新“小巨人”企業(yè)、國家高新技術(shù)企業(yè)、國家知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢企業(yè)、遼寧省技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)、遼寧省創(chuàng)新型中小企業(yè)、遼寧省省級企業(yè)技術(shù)中心等。

公司設(shè)立有2個(gè)全資子公司——上海上凱儀真空技術(shù)有限公司、中科儀（南通）半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司；1個(gè)分公司——中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司上海分公司。