SSI

SSI在科學(xué)家團(tuán)隊(duì)的帶領(lǐng)下，以科學(xué)精神為指引，確定了PVD工作站+超高真空互聯(lián)+表征儀器等高端真空儀器設(shè)備為未來(lái)的產(chǎn)品方向及精品戰(zhàn)略。經(jīng)過(guò)數(shù)年持續(xù)不斷的努力，SSI研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的以MBE（分子束外延）、UHV-Sputter（超高真空磁控濺射）、PLD（激光脈沖沉積）、EBE（電子束蒸發(fā)）、TES（熱蒸發(fā)）等為代表的薄膜設(shè)備，以及AES（俄歇）等表征儀器，并通過(guò)UHV LTS（超高真空互聯(lián)系統(tǒng)）將上述PVD工作站與表征儀器工作站互聯(lián)起來(lái)實(shí)現(xiàn)原位分析。這些裝備已經(jīng)大量被中國(guó)科學(xué)院下屬諸多研究所、清華大學(xué)、北京大學(xué)、南京大學(xué)、上?？萍即髮W(xué)、南方科技大學(xué)等高校實(shí)驗(yàn)室采購(gòu)使用，廣泛應(yīng)用于中國(guó)的基礎(chǔ)科研。掌握多項(xiàng)核心技術(shù)，擁有數(shù)項(xiàng)專利專著。