中微公司發(fā)布六款半導(dǎo)體設(shè)備新產(chǎn)品

企業(yè)信息 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司于2004年5月31日在浦東新區(qū)市場(chǎng)監(jiān)管局登記成立。法定代表人尹志堯（GERALD ZHEYAO YIN），公司經(jīng)營(yíng)范圍包括研發(fā)薄膜制造設(shè)備和等離子體刻蝕設(shè)備、大面積顯示屏設(shè)備等。 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司 公司簡(jiǎn)介 中微半導(dǎo)體設(shè)

3月26日消息，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司宣布通過(guò)不斷提升反應(yīng)臺(tái)之間氣體控制的精度，ICP雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕機(jī)Primo Twin-Star?又取得新的突破，反應(yīng)臺(tái)之間的刻蝕精度已達(dá)到0.2A（亞埃級(jí)）。這一刻蝕精度在氧化硅、氮化硅和多晶硅等薄膜的刻蝕工藝上，均得到了驗(yàn)證。該精度約等于硅原子直徑2.5埃的十分之一，是人類頭發(fā)絲平均直徑100微米的500萬(wàn)分之一。這是等離子體刻蝕技術(shù)領(lǐng)域的又一次創(chuàng)

2019 年年度報(bào)告 1 / 192 公司代碼：688012 公司簡(jiǎn)稱：中微公司 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 2019 年年度報(bào)告 2019 年年度報(bào)告 2 / 192 中微公司董事長(zhǎng)致辭 各位投資者，朋友們，很高興和大家分享中微公司 2019 年的發(fā)展情況。2019 年 7 月 22 日，

2021 年年度報(bào)告 1 / 227 公司代碼：688012 公司簡(jiǎn)稱：中微公司 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 2021 年年度報(bào)告 2021 年年度報(bào)告 2 / 227 中微公司董事長(zhǎng)尹志堯致辭 尊敬的各位股東、伙伴們、朋友們， 大家好！我謹(jǐn)代表中微公司董事會(huì)、公司管理層和全體 員工，向各位

2022 年年度報(bào)告 1 / 244 2022 年年度報(bào)告 2 / 244 公司代碼：688012 公司簡(jiǎn)稱：中微公司 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 2022 年年度報(bào)告 2022 年年度報(bào)告 3 / 244 2022 年年度報(bào)告 4 / 244 2022 年年度報(bào)告 5 / 244 2022

2023 年年度報(bào)告 0 / 246 2023 年年度報(bào)告 1 / 246 公司代碼：688012 公司簡(jiǎn)稱：中微公司 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 2023 年年度報(bào)告 2023 年年度報(bào)告 2 / 246 2023 年年度報(bào)告 3 / 246 2023 年年度報(bào)告 4 / 246 2023

2020 年年度報(bào)告 1 / 193 公司代碼：688012 公司簡(jiǎn)稱：中微公司 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司 2020 年年度報(bào)告 2020 年年度報(bào)告 2 / 193 重要提示 一、 本公司董事會(huì)、監(jiān)事會(huì)及董事、監(jiān)事、高級(jí)管理人員保證年度報(bào)告內(nèi)容的真實(shí)、準(zhǔn)確、完整， 不存在虛假記載、誤導(dǎo)性