投資30億美元！英特爾擴(kuò)建俄勒岡D1X晶圓廠，將部署High-NA EUV光刻機(jī)

4月12日消息，英特爾宣布投資30億美元擴(kuò)建俄勒岡州D1X 晶圓廠。英特爾CEO基辛格（Pat Gelsinger）強調(diào)，擴(kuò)建計劃將為俄勒岡州帶來積極影響，并重申致力于半導(dǎo)體研發(fā)（R&D）領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)地位。

據(jù)介紹，此次D1X-Mod3擴(kuò)建計劃，將斥資30 億美元，計劃完成后將使英特爾俄勒岡總投金額超過520 億美元。

英特爾資深副總裁納塔拉姜（Sanjay Natarajan）表示，位于奧勒岡州希爾斯伯勒市、擁有1.4萬名員工的D1X廠區(qū)，此次D1X-Mod3將擴(kuò)建27萬平方英尺，占地擴(kuò)大約20％。

D1X廠是英特爾的主要開發(fā)晶圓廠，這次擴(kuò)建第三模組，為該廠2010年動工以來第二次擴(kuò)建。在完成擴(kuò)廠后，將部署ASML新一代High-NA EUV光刻機(jī)TWINSCAN EXE:5200。因為該設(shè)備的體積龐大，但D1X廠原本的天花板太低，地板也難以支撐該設(shè)備的重量，所以才需要對D1X廠進(jìn)行擴(kuò)建。

英特爾預(yù)計，2024年才能收到新一代的High-NA EUV光刻機(jī)，但已著手提前準(zhǔn)備。該公司從去年8月已開始遷移關(guān)鍵工具到D1X廠，之后設(shè)備搬遷預(yù)料也需要一年時間。

根據(jù)英特爾先前公布的制程節(jié)點進(jìn)展規(guī)劃，Intel 7制程從2021年的Alder Lake用戶端產(chǎn)品，及今年第1季量產(chǎn)的Sapphire Rapids資料中心產(chǎn)品開始面市。Intel 4制程全面使用EUV光刻技術(shù)，將于2022年下半量產(chǎn)，2023年開始出貨。Intel 3制程，將于2023下半年準(zhǔn)備開始生產(chǎn)。Intel 20A制程（相當(dāng)于2nm）預(yù)計將從2024年逐步量產(chǎn)，高通已預(yù)訂成為這項技術(shù)的客戶，Intel 18A制程原預(yù)計于2025年初問世，近期英特爾已經(jīng)宣布提前半年到2024年下半年。

資料顯示，英特爾在俄勒岡州的投資歷史超過50 年，是英特爾最大半導(dǎo)體設(shè)施和人才集中地。首府波特蘭以西20 英里的Hillsboro，英特爾當(dāng)?shù)毓灿兴膫€園區(qū)，員工約22,000 名。2019 年資料顯示，英特爾對俄勒岡州的經(jīng)濟(jì)影響包括員工、龐大本地承包商和供應(yīng)商網(wǎng)路、資本投資和其他下游企業(yè)，英特爾年度總影響超過105,000 個工作職缺，且貢獻(xiàn)超過100 億美元勞動收入和190 億美元國內(nèi)生產(chǎn)總值。

編輯：芯智訊-林子