ASML稱中企侵權(quán)，芯片短期內(nèi)不會過剩將再發(fā)60臺EUV光刻機(jī)
2月9日，荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML（ASML）在2021年財報中宣稱，中國企業(yè)東方晶源（Dong Fang JingYuan Electron，DFJY）正在中國積極銷售可能（could potentially）侵犯該公司知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。ASML還稱，東方晶源與一家已經(jīng)破產(chǎn)的美國公司XTAL存在關(guān)聯(lián)，2019年美國法院曾判定XTAL侵犯ASML知識產(chǎn)權(quán)。
作為回應(yīng)，ASML已經(jīng)告知客戶不要協(xié)助這家名叫“東方晶源“的中國公司從事此類潛在的侵權(quán)行為。ASML還透露，該公司已向中國監(jiān)管部門告知相關(guān)信息，正在密切監(jiān)測相關(guān)情況，并準(zhǔn)備在適當(dāng)?shù)臅r機(jī)采取法律行動。
據(jù)了解，東方晶源全稱為東方晶源微電子科技（北京）有限公司，成立于2014年，總部位于北京亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，專注于集成電路良率管理。從具體業(yè)務(wù)來看，東方晶源主要產(chǎn)品為納米級電子束缺陷檢測裝備（EBI）和關(guān)鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）、計算光刻產(chǎn)品（OPC）以及微電子設(shè)計與制造智能良率優(yōu)化平臺（HPOTM）。東方晶源由中國500強(qiáng)企業(yè)東方集團(tuán)投資控股，而東方集團(tuán)是一家成立于1978年的大型投資控股型民營企業(yè)。
援引觀察者網(wǎng)采訪的某資深半導(dǎo)體行業(yè)人士表示，在光刻過程中，光的衍射以及感光層中的物理和化學(xué)效應(yīng)會使光刻機(jī)試圖刻出的圖像變形，因此需要計算光刻進(jìn)行校準(zhǔn)和優(yōu)化。簡單來說，計算光刻類似EDA中的算法，是一種晶圓廠需要購買的服務(wù)，如果曝光圖形跟實際掩膜（Mask）有差異，可以通過計算光刻提前修正掩膜確保得到想要的圖形。一般來說，如果晶圓廠覺得ASML的計算光刻不夠好，也可以選擇第三方提供的產(chǎn)品，二者由此便會形成競爭。
XTAL公司是由ASML-Brion部門工作前員工創(chuàng)立（注：Brion是計算光刻概念的提出者，在2007年被ASML收購），成立于2014年。XTAL公司業(yè)務(wù)不僅包括計算光刻，而且據(jù)當(dāng)時的國外媒報道，XTAL在成立后發(fā)展迅猛，而ASML在失去一個關(guān)鍵客戶的合同后開始對XTAL懷疑其“非法利用ASML-Brion在該領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù)”。
隨后，在2016年ASML公司對XTAL公司發(fā)起了訴訟。根據(jù)指控，ASML美國子公司的幾名員員竊取公司機(jī)密——源代碼、軟件、公司定價策略和供內(nèi)部使用的設(shè)備手冊，并將這些機(jī)密傳給XTAL公司。
2018年11月，美國加州一家法院初步裁定，XTAL盜竊知識產(chǎn)權(quán)是惡意行為，阿斯麥指控XTAL的所有五項罪名成立，可依法獲得懲罰性賠償。
2018年12月，XTAL申請破產(chǎn)并試圖出售知識產(chǎn)權(quán)，法院只能延遲判決。在2019年5月，圣克拉拉高等法院做出最終裁決，判定XTAL賠償阿斯麥8.45億美元。但因為XTAL破產(chǎn)的緣故，ASML也無法拿到賠償金，只是根據(jù)和解協(xié)議接手了XTAL的大部分知識產(chǎn)權(quán)，XTAL也被禁止在一段時間內(nèi)繼續(xù)與Brion相同的業(yè)務(wù)。
ASML在這份2021年度報告當(dāng)中再次提到了對于其商業(yè)秘密、專有客戶數(shù)據(jù)、知識產(chǎn)權(quán)或其他機(jī)密信息遭到第三方或自家員工竊取的擔(dān)憂。
目前，東方晶源方面并未對此事作出回應(yīng)。
ASML銷售額創(chuàng)新高，今年再發(fā)60臺EUV光刻機(jī)
光刻技術(shù)是目前芯片生產(chǎn)的核心工藝，EUV技術(shù)被認(rèn)為是當(dāng)前生產(chǎn)芯片的最佳工藝。ASML公司作為光刻系統(tǒng)行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者，憑借對先進(jìn) EUV 技術(shù)的大量投資和在EUV技術(shù)方面的壟斷地位，以及在老式光刻系統(tǒng)產(chǎn)品線中也占據(jù)主導(dǎo)地位。
據(jù)Counterpoint報道，2021年全球半導(dǎo)體行業(yè)總銷售額創(chuàng)下5500億美元的新紀(jì)錄。2月9日消息，ASML公布2021財年第四季度業(yè)績，其中凈銷售額同比增長35%，毛利率創(chuàng)下歷史新高，達(dá)到52.7%，其中EUV（極紫外線）光刻機(jī)銷售額達(dá)到63億歐元（約合人民幣458億元）。ASML已經(jīng)對High-NA光刻機(jī)進(jìn)行了大量投資，High-NA光刻機(jī)是EUV光刻機(jī)的進(jìn)一步優(yōu)化，該公司的目標(biāo)是使其能夠?qū)崿F(xiàn)3nm芯片的生產(chǎn)。
ASML表示，最近將有6套左右的EUV光刻機(jī)完成出貨，2022年共計將交付60套EUV光刻機(jī)，預(yù)計到2025年，EUV光刻機(jī)出貨量將增加1.5倍以上。據(jù)此前報道，ASML計劃2022年將其生產(chǎn)能力提高到55臺EUV光刻設(shè)備，到2023年達(dá)到每年超過60臺。
目前ASML主要出產(chǎn)的光刻機(jī)有EUV 42、DUV-ArFi 81、ArFdry 22、KrF 131、i-line 33，其中，EUV光刻機(jī)的銷售額2021財年第四季度銷售額就達(dá)到63億歐元，整個2021財年里，EUV光刻機(jī)的銷售額對總銷售額的貢獻(xiàn)率達(dá)到46%。
據(jù)介紹，ASML已經(jīng)收到五個EXE:5000型號（High-NA產(chǎn)品型號）的訂單，各光學(xué)掩模、光刻膠供應(yīng)商之間正在密切協(xié)作，預(yù)計在2023年完成出貨。2024年，AMSL還將推出EXE：5200型號，這是該公司下一代預(yù)計大批量生產(chǎn)的High-NA光刻機(jī)。
ASML公司稱，2022年至2026年，該公司凈銷售額同比增長將達(dá)到20%左右，這部分的增長將主要通過High-NA光刻機(jī)的EUV設(shè)備銷售來實現(xiàn)，到2025年，High-NA光刻機(jī)將被大規(guī)模用于DRAM芯片（Dynamic Random Access Memory）的生產(chǎn)。
有數(shù)據(jù)指出，2021年ASML光刻機(jī)的出貨地的最大市場是中國臺灣，四季度有51%的光刻系統(tǒng)發(fā)往當(dāng)?shù)兀急拳h(huán)比提升5個百分點；韓國是該公司第二大市場，同期有27%的光刻系統(tǒng)發(fā)往當(dāng)?shù)兀急拳h(huán)比下降6個百分點；中國大陸是ASML第三大市場，四季度有22%的光刻系統(tǒng)向當(dāng)?shù)爻鲐?，占比提?2個百分點。2021年三季度，美國和日本分別在ASML出貨中占比10%和1%，但四季度占比均意外降為0，具體原因尚不清楚。
ASML光刻機(jī)出貨信息
中國大陸其實一直難以獲得ASML最先進(jìn)工藝的光刻系統(tǒng)，據(jù)此前報道，在2020年三季度財報發(fā)布后，ASML的執(zhí)行副總裁和CFO羅杰·達(dá)森（Roger Dassen）接受采訪稱，如果ASML從荷蘭向中國客戶銷售DUV（深紫外線）光刻系統(tǒng)，是不需要出口許可證的。但如果向中國客戶直接出口涉及美國方面的零部件及系統(tǒng)，按照美國要求，就必須獲得出口許可。這意味著，比DUV更先進(jìn)的EUV（極深紫外線）光刻機(jī)的確不能直接賣給中國。
從2018年開始，ASML就試圖向中國大陸銷售EUV光刻機(jī)，希望進(jìn)一步進(jìn)入中國大陸市場，但荷蘭政府一直未批準(zhǔn)其出口許可申請。在美國的持續(xù)施壓之下，這一請求已被荷蘭官員擱置。
ASML呼吁歐洲組建芯片聯(lián)盟，短期內(nèi)不存在芯片過剩風(fēng)險
在全球“缺芯”持續(xù)困擾眾多產(chǎn)業(yè)之際，發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為全球多個國家地區(qū)的共識。據(jù)外媒報導(dǎo)，?在2月9日，荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商 ASML 的首席執(zhí)行官Peter Wennink也在致投資者的信中預(yù)計，今年中國、歐盟、日本、韓國和美國在芯片行業(yè)的資本支出預(yù)計將從2021年的1500億美元增加一倍。
Peter Wennink表示：“我們意識到，這引發(fā)了對潛在供應(yīng)過剩的擔(dān)憂，然而我們認(rèn)為，半導(dǎo)體行業(yè)明顯的增長前景確實需要大幅提高產(chǎn)能。行業(yè)合作伙伴將付出足夠的努力，以維持一個無障礙、高效的創(chuàng)新生態(tài)系統(tǒng)，設(shè)法避免供應(yīng)過剩的情況?！?/span>
過去20年，歐洲芯片制造商幾乎停止了對先進(jìn)制造能力的投資，而是將更先進(jìn)芯片設(shè)計的生產(chǎn)外包給臺積電等外工廠。這意味著歐洲明顯缺乏專業(yè)知識，需要幾乎從零開始建立一個新的制造業(yè)生態(tài)系統(tǒng)。對于歐洲來說，無論是芯片產(chǎn)業(yè)上游產(chǎn)能或是芯片產(chǎn)業(yè)下游需求，目前都遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于美國和亞洲。比如，除了博世等極少數(shù)公司外，歐洲并沒有太多公司能夠創(chuàng)造足夠多的邊緣計算需求。然而人們普遍預(yù)計，到2030年，全球?qū)π酒袠I(yè)的需求增長將主要依靠邊緣數(shù)據(jù)處理需求（例如自動駕駛汽車）的增長來推動。歐盟委員會預(yù)測，邊緣計算和云計算產(chǎn)生的需求相對比例將在本世紀(jì)末發(fā)生逆轉(zhuǎn)，從目前的20:80逆轉(zhuǎn)為80:20。
ASML認(rèn)為，要提振歐洲芯片產(chǎn)業(yè)，這份芯片法案遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。ASML還呼吁歐洲成立一個廣泛的跨行業(yè)聯(lián)盟，并盡快集體討論出一份“長期半導(dǎo)體創(chuàng)新路線圖”：
1. 最大限度地發(fā)揮歐洲冠軍在半導(dǎo)體設(shè)計、制造設(shè)備和材料方面的潛力，這是全球半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)所依賴的；
2. 投資歐洲半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)，提升歐洲在全球終端市場的強(qiáng)大工業(yè)地位；
3. 在歐洲投資成熟和先進(jìn)的半導(dǎo)體生產(chǎn)；
4. 吸引行業(yè)領(lǐng)先者在歐洲建立先進(jìn)的工廠（或“晶圓廠”）；
5. 升級歐洲半導(dǎo)體工藝技術(shù)研究設(shè)施。
在財政刺激方面，目前，歐盟需要660億美元的資本支出才能維持其目前在全球產(chǎn)能中8%的份額，而ASML估計，歐盟必須需要將資本支出大幅提高到2640億美元，才能實現(xiàn)產(chǎn)出翻兩番的目標(biāo)。
ASML警告稱：“如果不采取行動，歐洲半導(dǎo)體產(chǎn)能（在全球占比）將降至4%以下，這將使其在全球范圍內(nèi)幾乎無關(guān)緊要。因此，（各國政府）需要大力鼓勵外國對歐洲先進(jìn)晶圓廠的投資，以降低相關(guān)的高風(fēng)險。如果歐洲政策制定者不提供足夠的激勵措施，這些先進(jìn)的晶圓將在其他地方建造?！?/span>
本文參考自財聯(lián)社、Counterpoint、路透社、觀察者網(wǎng)、新浪財經(jīng)等
報告下載：
本號資料全部上傳至知識星球，更多內(nèi)容請登錄智能計算芯知識（知識星球）星球下載全部資料。
免責(zé)申明：本號聚焦相關(guān)技術(shù)分享，內(nèi)容觀點不代表本號立場，可追溯內(nèi)容均注明來源，發(fā)布文章若存在版權(quán)等問題，請留言聯(lián)系刪除，謝謝。
電子書<服務(wù)器基礎(chǔ)知識全解(終極版)>更新完畢，知識點深度講解，提供182頁完整版下載。
獲取方式：點擊“閱讀原文”即可查看PPT可編輯版本和PDF閱讀版本詳情。
溫馨提示：
請搜索“AI_Architect”或“掃碼”關(guān)注公眾號實時掌握深度技術(shù)分享，點擊“閱讀原文”獲取更多原創(chuàng)技術(shù)干貨。
