12億美元！中芯與ASML達成新的設備采購協(xié)議，會有EUV光刻機嗎？

3月3日晚間，中芯國際通過港交所發(fā)布公告，宣布公司已于2021年2月1日，就購買用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥（ASML）產(chǎn)品與ASML上海公司簽訂了經(jīng)修訂和重述的采購協(xié)議，根據(jù)購買的ASML產(chǎn)品定價計算，該協(xié)議購買ASML產(chǎn)品的總代價約為12億美元（約合人民幣77.6億元）。

根據(jù)該協(xié)議，中芯國際將先行向ASML支持30%的預付款，余款將于產(chǎn)品交付時支付。

從采購金額來看，12億美金夠買十多臺先進的DUV光刻機，即便是1.2億美金一臺的EUV光刻機，也能賣個10臺左右。

根據(jù)公告顯示，ASML批量采購協(xié)議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日延長至從2018年1月1日至2021年12月31日。中芯國際根據(jù)批量采購協(xié)議已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個月期間就購買用于生產(chǎn)晶圓的ASML產(chǎn)品與ASML集團簽訂購買單。

也就是說，此次的協(xié)議是此前采購協(xié)議（2018年1月1日至2020年12月31日）的延長，延長至2021年12月31日。換句話來說就是，這是一個覆蓋了2018-2021年三年間的采購協(xié)議，并且公告顯示，在2020年3月16日至2021年3月2日的12個月期間，已經(jīng)在執(zhí)行購買協(xié)議。 

所以，這個12億美元的采購并不是全新的采購訂單，只是之前簽訂的采購協(xié)議的延期和重新修改，之前已經(jīng)完成了部分的采購。

而且，這個采購協(xié)議里可能還包含了之前2018年采購的那臺至今未交付的EUV光刻機的訂單的延期。

早在2018年5月，中芯國際就向ASML訂購了一臺最新型的EUV光刻機，原計劃在2019年初交付。但是由于美國方面的阻撓，ASML一直未能收到荷蘭政府頒發(fā)新的許可證，這也導致了ASML一直無法向中芯國際交付EUV光刻機。

不過由于中芯國際訂購的EUV光刻機遲遲無法拿到許可，該訂單也有可能已經(jīng)取消或替換成了等價的DUV光刻機，畢竟在美國的阻撓下，今年年內(nèi)可能還是難以實現(xiàn)EUV光刻機的交付。

此前，ASML的CFO在財報會議的視頻采訪中表示：如果寬泛地理解相關規(guī)則對AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國客戶（包括中芯國際）提供DUV光刻系統(tǒng)，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請出口許可證。

即便中芯國際未來能夠拿到EUV光刻機，由于美國的禁令，限制對于中芯國際供應10nm及以下工藝所需的美系半導體設備，這也使得中芯難以對7nm以下制程實現(xiàn)量產(chǎn)突破，畢竟半導體生產(chǎn)并不只是靠光刻機就行的。未來，中芯國際可能還是要依靠與國產(chǎn)及非美系設備廠商在先進制程上的協(xié)作來突破。

編輯：芯智訊-林子