光刻機(jī)第一股？華卓精科順利過會背后：消失的“光刻機(jī)雙工件臺”

9月17日，上海證券交易所披露信息稱，上海證券交易所科創(chuàng)板上市委員會2021年第69次審議會議于2021年9月17日上午召開，審議通過了北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科”）科創(chuàng)板IPO上市的申請。

華卓精科此次申請科創(chuàng)板IPO，計(jì)劃募資7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產(chǎn)品創(chuàng)新項(xiàng)目、光刻機(jī)超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)4個(gè)項(xiàng)目。

作為號稱打破國外壟斷的國產(chǎn)光刻機(jī)雙工件臺企業(yè)，在華卓精科科創(chuàng)板IPO申請獲得批準(zhǔn)前后，不少媒體都有對華卓精科進(jìn)行過報(bào)道，并稱華卓精科將成為“光刻機(jī)第一股”。然而諷刺的是，一個(gè)多月前，華卓精科就曾上會，但正因?yàn)閷⑸形磳?shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的“光刻機(jī)雙工件臺”業(yè)務(wù)作為主營業(yè)務(wù)而被“暫緩審議”。

此次華卓精科能夠成功過會，似乎正是因?yàn)橹匦赂铝苏泄蓵?，并將“光刻機(jī)雙工件臺”從招股書當(dāng)中刪除了。

一、打破國外壟斷，世界上第二家掌握雙工件臺核心技術(shù)的公司？

眾所周知，光刻機(jī)是制造大規(guī)模集成電路的核心裝備。為將芯片設(shè)計(jì)圖形制作到硅片上，并在一顆芯片上集成數(shù)十億、甚至上百億顆的晶體管，必須要用到光刻機(jī)來進(jìn)行曝光。

而對于光刻機(jī)的性能來說，曝光系統(tǒng)是最為核心的部件。此外工件臺也是一個(gè)關(guān)鍵部件，在高速運(yùn)動下需達(dá)到2nm（相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的三萬分之一）的運(yùn)動精度，它的定位精度直接影響了光刻出來的硅片的質(zhì)量。 這也奠定了光刻機(jī)超精密工件臺技術(shù)在超精密機(jī)械制造與控制領(lǐng)域的尖端地位，被稱為超精密技術(shù)皇冠上的明珠。

在2000年前，光刻設(shè)備只有一個(gè)工件臺，晶圓片的對準(zhǔn)與曝光流程都在上面完成。直到2001年，ASML推出了Twinscan雙工件臺系統(tǒng)，使得光刻機(jī)能在一個(gè)工件臺進(jìn)行曝光晶圓片，同時(shí)在另外一個(gè)工作臺進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)工作，并在第一時(shí)間得到結(jié)果反饋，生產(chǎn)效率提高大約35%，精度提高10%以上。而隨近年來技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)，雙工件臺的效率得到了持續(xù)的提升。

有資料顯示，單工件臺的光刻機(jī)的生產(chǎn)速度只有每小時(shí)80片，而雙工件臺，它的生產(chǎn)速度則可以高達(dá)每小時(shí)270片~300片。

雖然，相比單工件臺系統(tǒng)來說，雙工件臺系統(tǒng)雖然僅是加一個(gè)工件臺，但技術(shù)難度卻不容小覷，對工件臺轉(zhuǎn)移速度和精度有非常高的要求。

自2013年以來，華卓精科就承擔(dān)了“IC 裝備高端零部件集成制造工藝研究與生產(chǎn)制 造”項(xiàng)目、“浸沒式光刻機(jī)雙工件臺產(chǎn)品研制與能力建設(shè)”項(xiàng)目和“浸沒式光刻 機(jī)雙工件臺平面光柵位置測量系統(tǒng)研發(fā)”項(xiàng)目等3項(xiàng)“02 專項(xiàng)”重大科研項(xiàng)目。并在隨后幾年，實(shí)現(xiàn)了超精密機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)、超精密位移測量技術(shù)、超精密控制技術(shù)等核心技術(shù)的突破，奠定了公司光刻機(jī)雙工件臺的研發(fā)基礎(chǔ)。

2016年4月28日，在公司創(chuàng)始人兼董事長——清華大學(xué)機(jī)械系機(jī)電所所長朱煜教授的帶領(lǐng)下，華卓精科研發(fā)團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)5年時(shí)間研發(fā)的光刻機(jī)雙工件臺系統(tǒng)樣機(jī)成功通過了國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡稱02專項(xiàng)）實(shí)施管理辦公室的項(xiàng)目驗(yàn)收。

▲光刻機(jī)雙工件臺樣機(jī)（圖片來源：清華大學(xué)）

招股書顯示，華卓精科還對上述技術(shù)進(jìn)一步進(jìn)行縱向延伸，突破了當(dāng)前業(yè)內(nèi)先進(jìn)的 六自由度磁浮微動臺技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對微動臺高階柔性模態(tài)的抑制，使其運(yùn)動精度優(yōu)于 2nm，大大提高了雙工件臺的分辨率。

在此前華卓精科官網(wǎng)上，華卓精科宣稱其生產(chǎn)的光刻機(jī)雙工件臺，“打破了ASML公司在光刻機(jī)工件臺上的技術(shù)上的壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件臺核心技術(shù)的公司?！?/p>

這也是為什么華卓精科在宣布準(zhǔn)備在科創(chuàng)板上市之后，被眾多媒體廣泛關(guān)注和報(bào)道，并被不少媒體稱之為“光刻機(jī)概念第一股”或“光刻機(jī)第一股”的關(guān)鍵所在。

不過，據(jù)某晶圓廠相關(guān)部門負(fù)責(zé)人向芯智訊透露，華卓精科此前宣傳其是除ASML之外“世界上第二家掌握雙工件臺核心技術(shù)的公司”有些夸張，因?yàn)樵谄渲埃琋ikon很早就有與ASML交叉專利授權(quán)，并自己有推出雙工件臺應(yīng)用在自家的光刻機(jī)當(dāng)中。另外，國產(chǎn)光刻機(jī)廠商上海微電子自己也有在研發(fā)雙工件臺。

二、“光刻機(jī)雙工件臺”列為主營業(yè)務(wù)引質(zhì)疑，一個(gè)多月前曾被“暫緩審議”

2020年6月24日，華卓精科正式披露了科創(chuàng)板首次公開發(fā)行股票招股說明書(申報(bào)稿)。

在當(dāng)時(shí)的申報(bào)稿當(dāng)中，華卓精科稱，公司主營業(yè)務(wù)為光刻機(jī)雙工件臺、超精密測控裝備整機(jī)以及關(guān)鍵部件等衍 產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)以及銷售和技術(shù)服務(wù)。公司長期專注于納米級超精密測控技術(shù)， 是國內(nèi)領(lǐng)先的集成電路制造裝備及其核心部件、精密/超精密運(yùn)動系統(tǒng)及相關(guān)技術(shù)供應(yīng)商，致力于在實(shí)現(xiàn)超精密機(jī)械與測控技術(shù)成果產(chǎn)業(yè)化的基礎(chǔ)上成為中國乃至全球卓越的精密科技公司。公司以光刻機(jī)雙工件臺為核心，并以該產(chǎn)品的超精密測控技術(shù)為基礎(chǔ)，開發(fā)了晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等整機(jī)產(chǎn)品，以及精密運(yùn)動系統(tǒng)、隔振器和靜電卡盤等部件衍生產(chǎn)品。

△華卓精科創(chuàng)板首次公開發(fā)行股票招股說明書(申報(bào)稿)中關(guān)于“主營業(yè)務(wù)及產(chǎn)品”的描述

除了在主營業(yè)務(wù)當(dāng)中，突出強(qiáng)調(diào)了“光刻機(jī)雙工件臺”之外，華卓精科還在此前的招股書中稱，“公司為國內(nèi)首家可自主研發(fā)并實(shí)現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)的光刻機(jī)雙工件臺供應(yīng)商。作為上海微電子光刻機(jī)雙工件臺的供應(yīng)商，公司與上海微電 子長期保持良好的合作關(guān)系，共同進(jìn)行 IC 前道光刻機(jī)核心技術(shù)的研發(fā)和 IC 前道 光刻機(jī)產(chǎn)品的生產(chǎn)，為國產(chǎn)光刻機(jī)崛起奠定了基礎(chǔ)，占據(jù)了中國商用光刻機(jī)雙工件臺的主要市場份額?！?/span>

在整個(gè)招股書申報(bào)稿當(dāng)中，華卓精科引以為傲的“光刻機(jī)雙工件臺”總共被提及了143次。

然而令人意外的是，從華卓精科招股書申報(bào)稿當(dāng)中披露的主營業(yè)務(wù)收入構(gòu)成數(shù)據(jù)來看，其“光刻機(jī)雙工件臺”業(yè)務(wù)下滑明顯。

2017年及2018年，華卓精科光刻機(jī)雙工件臺業(yè)務(wù)營收分別為1521.37萬元和795萬元，在總營收當(dāng)中的占比分別為28.12%和9.28%，下滑明顯。而且在2019年，作為主營業(yè)務(wù)的雙工件臺業(yè)務(wù)營收竟然降至為零。

△華卓精科創(chuàng)板首次公開發(fā)行股票招股說明書(申報(bào)稿)中關(guān)于“主營業(yè)務(wù)收入構(gòu)成”的數(shù)據(jù)

華卓精科在申報(bào)稿中也有特別指出，“目前，公司研發(fā)、生產(chǎn)的光刻機(jī)雙工件臺下游客戶僅有上海微電子，即受限于上海微電子光刻機(jī)所獲商業(yè)訂單及生產(chǎn)排期的影響。一定程度上，公司光刻機(jī)雙工件臺產(chǎn)品商業(yè)化前景取決于上海微電子光刻機(jī)整機(jī)銷售情況。若光刻機(jī)雙工件臺產(chǎn)品開發(fā)進(jìn)度緩慢，光刻機(jī)其他整機(jī)部件以及整機(jī)集成技術(shù)發(fā)展滯緩，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化未達(dá)預(yù)期，將對發(fā)行人光刻機(jī)雙工件臺商業(yè)化帶來不利影響，光刻機(jī)雙工件臺商業(yè)化前景尚不明朗?！?/p>

顯然，這里將“光刻機(jī)雙工件臺”作為主營業(yè)務(wù)是存有一定問題的。

隨后，在7月22日發(fā)布的華卓精科創(chuàng)板首次公開發(fā)行股票招股說明書(上會稿)中，華卓精科將原本單獨(dú)作為主營業(yè)務(wù)的“光刻機(jī)雙工件臺”已經(jīng)被重新歸類到了主營業(yè)務(wù)“超精密測控裝備部件”之下，并且將主要產(chǎn)品“光刻機(jī)雙工件臺”的名稱也更改為了“光刻機(jī)雙工件臺模塊”。

△7月22日華卓精科創(chuàng)板首次公開發(fā)行股票招股說明書(上會稿)中關(guān)于“主營業(yè)務(wù)及產(chǎn)品”的介紹

華卓精科更新的數(shù)據(jù)顯示，2020年其“光刻機(jī)雙工件臺”業(yè)務(wù)重新獲得了1737.74萬元的營收，但這時(shí)項(xiàng)目名稱也更改為了“光刻機(jī)雙工件臺模塊及技術(shù)開發(fā)”。

△7月22日華卓精科創(chuàng)板首次公開發(fā)行股票招股說明書(上會稿)中關(guān)于“主營業(yè)務(wù)收入構(gòu)成”的數(shù)據(jù)

也就是說，華卓精科的“光刻機(jī)雙工件臺”業(yè)務(wù)并不是直接來源于“光刻機(jī)雙工件臺”產(chǎn)品銷售，而是“光刻機(jī)雙工件臺模塊及技術(shù)開發(fā)”。

但是在這份上會稿當(dāng)中，華卓精科又表示，“公司 DWS 系列光刻機(jī)雙工件臺可實(shí)現(xiàn)優(yōu)于 4.5nm 的運(yùn)動平均偏差，已于 2020 年 4 月和 2021 年 1 月、4 月、6 月分別 向上海微電子發(fā)貨 1 臺 DWS 雙工件臺，累計(jì)發(fā)貨 4 臺 DWS 雙工件臺；公司的 DWSi 系列光刻機(jī)雙工件臺運(yùn)動平均偏差優(yōu)于 2.5nm，可應(yīng)用于 ArFi 光刻機(jī)， 目前正在研發(fā)中?！?/p>

一會說營收來自于“光刻機(jī)雙工件臺模塊及技術(shù)開發(fā)”，一會又說向上海微電子發(fā)貨了4臺雙工件臺（整機(jī)），這似乎有些矛盾。

而在7月22日北京市邦盛律師事務(wù)所出具的《關(guān)于北京華卓精科科技股份有限公司首次公開發(fā)行股票并在科創(chuàng)板上市的 補(bǔ)充法律意見書》當(dāng)中有提及華卓精科與上海微電子具體的合作內(nèi)容：

從上面的介紹來看，華卓精科“光刻機(jī)雙工件臺”業(yè)務(wù)的營收并不是來自于直接向上海微電子銷售“光刻機(jī)雙工件臺”整機(jī)產(chǎn)品，而是提供“光刻機(jī)雙工件臺分系統(tǒng)集成測試與運(yùn)動控制技術(shù)開發(fā)”。

另外在該上會稿當(dāng)中，也顯示，截至該招股書上會稿簽署日（7月22日），華卓精科DWS系列光刻機(jī)雙工件臺累計(jì)發(fā)貨4臺，但目前仍處于與上海微電子光刻機(jī)整機(jī)集成、測試階段，尚未通過上海微電子最終驗(yàn)收。

基于以上種種，華卓精科此前直接將“光刻機(jī)雙工件臺”列為主營業(yè)務(wù)，以及公司的“核心”，并且在招股書中大肆強(qiáng)化尚未實(shí)現(xiàn)的產(chǎn)業(yè)化的“光刻機(jī)雙工件臺”產(chǎn)品，模糊向上海微電子交付的到底是“光刻雙工件臺整機(jī)”還是“光刻機(jī)雙工件臺模塊及技術(shù)開發(fā)”是存有較大爭議的。

另外，據(jù)芯智訊了解，華卓精科的光刻機(jī)雙工件臺的唯一客戶——上海微電子目前也在自研光刻機(jī)雙工件臺。

“目前光刻機(jī)的雙工件臺基本都是光刻機(jī)原廠自己在做，上海微電子自己也在研發(fā)，雖然有采購華卓精科的雙工件臺，但是部分主要也是拿來做對比。現(xiàn)在情況是上海微電子對于自研和華卓精科的雙工臺都有同時(shí)在做驗(yàn)證，但如果自研的雙工件臺沒有問題的話，未來可能將會全面轉(zhuǎn)向自研?！蹦硣鴥?nèi)晶圓廠相關(guān)部門負(fù)責(zé)人告訴芯智訊。

也就是說，如果上海微電子自研的雙工件臺獲得成功，未來華卓精科可能將面臨沒有客戶的尷尬境地。

在今年7月29日，在科創(chuàng)板上市委2021年第51次審議會議上，華卓精科被當(dāng)庭決定“暫緩審議”。在上市委現(xiàn)場問詢問題當(dāng)中，就有對華卓精科“光刻機(jī)雙工件臺”產(chǎn)業(yè)化前景提出了質(zhì)疑。

上市委認(rèn)為，如果華卓精科下游客戶未能按計(jì)劃實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，“光刻機(jī)雙工件臺”業(yè)務(wù)可能存在可持續(xù)性風(fēng)險(xiǎn)，以及在此情況下，其將存在是否符合科創(chuàng)板定位和發(fā)行上市條件等問題。此外，華卓精科技術(shù)研發(fā)是否對清華大學(xué)構(gòu)成重大依賴，以及2019 年及 2020 年第四季度確認(rèn)的大額銷售收入等問題也被上市委關(guān)注。因此，華卓精科被“暫緩審議”。

上市委還要求華卓精科結(jié)合“光刻機(jī)雙工件臺”業(yè)務(wù)尚未實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的情況，說明其申報(bào)期內(nèi)的主要業(yè)務(wù)是否符合科創(chuàng)板定位和發(fā)行上市條件。并請保薦人和其他中介機(jī)構(gòu)發(fā)表明確意見。

三、成功過會背后，消失的“光刻機(jī)雙工件臺”

9月10日，華卓精科再度更新了創(chuàng)板首次公開發(fā)行股票招股說明書(上會稿)。同時(shí)，公司的保薦機(jī)構(gòu)東興證券、律師事務(wù)所北京邦盛、會計(jì)師事務(wù)所大華同步更新了各自機(jī)構(gòu)對華卓精科擬上市的保薦書、合規(guī)意見書和無保留意見書。

值得注意的是，在新的招股說明書(上會稿)當(dāng)中，華卓精科對其主營業(yè)務(wù)及產(chǎn)品進(jìn)行重新描述，不再將“光刻機(jī)雙工件臺”業(yè)務(wù)列為主營業(yè)務(wù)，直接將其歸類到了“超精密測控設(shè)備部件”當(dāng)中。原先在申報(bào)稿中出現(xiàn)頻率高達(dá)143次的“光刻機(jī)雙工件臺”徹底消失在了9月10日公布的招股說明書(上會稿)當(dāng)中。

△9月10日公布的華卓精科創(chuàng)板首次公開發(fā)行股票招股說明書(上會稿)中關(guān)于“主營業(yè)務(wù)及產(chǎn)品”的描述

另外，從更新后的上會稿來看，目前華卓精科的主要營收也是來自于“超精密測控設(shè)備部件”（其中包含了技術(shù)開發(fā)），2018-2020年?duì)I收分別為8011.74萬元、8463.08萬元、11798.42萬元，在整體營收當(dāng)中的占比分別達(dá)到了93.48%、69.94%、77.56%。而超精密測控裝備整機(jī)銷售則分別為200萬元、3579.65萬元、3096.11萬元，在整體營收當(dāng)中的占比分別為2.33%、29.59%、20.35%。可以看到，超精密測控裝備整機(jī)的營收占比相對較小。

最新的上會稿也顯示，目前華卓精科的“精密運(yùn)動系統(tǒng)”已完成規(guī)?；慨a(chǎn)；晶圓級鍵合設(shè)備僅出貨了一臺，采購方是上海集成；IGBT功率激光退火設(shè)備也僅僅出貨了一臺，采購方是燕東微電子；靜電卡盤實(shí)現(xiàn)小批量量產(chǎn)，比如2018年華卓精科有向華創(chuàng)微電子交付21枚刻蝕機(jī)專用靜電卡盤，并通過華創(chuàng)微電子驗(yàn)收?？梢钥吹剑渲幸餐耆珱]有“光刻機(jī)工件臺”設(shè)備整機(jī)的量產(chǎn)銷售。

而且，可以應(yīng)用都光刻機(jī)雙工件臺的“精密運(yùn)動系統(tǒng)”其實(shí)并不限于光刻機(jī)雙工件臺，也適用于PCB、基因、生物等檢測設(shè)備。所以，華卓精科此前將“精密運(yùn)動系統(tǒng)”被上海微電子采購用于光刻機(jī)雙工件臺，就將“光刻機(jī)雙工件臺”單列為主營業(yè)務(wù)是不合適的。

在9月10日華卓精科更新上會稿之后，9月17日，華卓精科再度上會，這一次順利獲得了上海證券交易所科創(chuàng)板上市委員會的批準(zhǔn)。

顯然，此次華卓精科創(chuàng)板IPO申請順利獲得通過的背后，與最新的上會稿中全面刪除“光刻機(jī)雙工件臺”相關(guān)內(nèi)容，并將原“光刻機(jī)雙工件臺”業(yè)務(wù)及營收直接將其歸類到了“超精密測控設(shè)備部件”當(dāng)中有著直接的關(guān)系。

四、三年累計(jì)獲7.27億元政府補(bǔ)貼，達(dá)總營收的兩倍

根據(jù)更新后的上會稿顯示，2018-2020年度，華卓精科營收其營收分別為8570.92萬元、1.21億元和1.52億元，凈利潤分別為1512.36萬元，2087.24萬元和1242.83萬元。三年累計(jì)營收不到3.59億元，凈利潤僅4842.43萬元。

需要指出的是，2018-2020年度，華卓精科收到的政府補(bǔ)助分別為 13,931.25 萬元、32,136.67 萬元和 26,651.20 萬元。累計(jì)補(bǔ)助高達(dá)7.27億元，達(dá)到了華卓精科近三年累計(jì)營收的兩倍。

對此，華卓精科也表示，如果未來公司無法繼續(xù)享受上述政府補(bǔ)助，將影響公司的技術(shù)研發(fā)投入，影響公司維持技術(shù)先進(jìn)性，進(jìn)而可能影響公司的經(jīng)營活動，對公司未來經(jīng)營業(yè)績造成一定不利影響。

五、80%專利與清華大學(xué)共享，研發(fā)能力受關(guān)注

此前華卓精科被上市委暫停審議之時(shí)，華卓精科的技術(shù)研發(fā)對于清華大學(xué)是否構(gòu)成重大依賴，以及華卓精科自身是否具備持續(xù)的自主研發(fā)能力，也受到了上市委的關(guān)注。

從報(bào)告期內(nèi)的研發(fā)投入來看，華卓精科的研發(fā)投入金額實(shí)際并不高。2018-2020年度，華卓精科研發(fā)投入分別為1374.99萬元、1741.59萬元，2137.09萬元，在總營收當(dāng)中的占比分別為16.04%、14.03%和14.40% 。

不過，華卓精科擁有的發(fā)明專利卻并不少。根據(jù)更新后的上會稿顯示，截至 2021 年6月30日，通過單獨(dú)申請、受讓以及共同申請的方式，華卓精科共擁有198項(xiàng)專利，其中發(fā)明專利148 項(xiàng)、實(shí)用新型 43 項(xiàng)、外觀設(shè)計(jì) 2 項(xiàng)、美國專利 5 項(xiàng)。

從這個(gè)專利數(shù)據(jù)來看，華卓精科的研發(fā)實(shí)力確實(shí)不容小覷。但是，這198項(xiàng)專利當(dāng)中，80%都是與清華大學(xué)共同所有的專利。

更新后的上會稿也顯示，截至2021年6月30日，華卓精科與清華大學(xué)作為共同專利權(quán)人擁有的專利共 計(jì) 162 項(xiàng)，其中協(xié)議轉(zhuǎn)讓方式獲取的專利 115 項(xiàng)、委托開發(fā)方式獲取的專利 30 項(xiàng)、合作研發(fā)方式獲取的專利 17 項(xiàng)，清華大學(xué)授權(quán)公司獨(dú)占實(shí)施許可的專利 1 項(xiàng)。

因此，這也不得不讓外界質(zhì)疑，華卓精科的技術(shù)研發(fā)對于清華大學(xué)過度依賴。

而之所以會造成這種問題，主要是由于華卓精科的實(shí)際控制人兼首席科學(xué)家朱煜教授同時(shí)也是清華大學(xué)現(xiàn)任長聘教授、博士生導(dǎo)師。

▲朱煜教授

（注：朱煜直接持有華卓精科35.72%的股份，并通過艾西科技和艾西博銳間接持有華卓精科5.45%的股份，同時(shí)合計(jì)持有華卓精科13.06%股份的徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮等7名股東，與朱煜是一致行動人。因此，朱煜實(shí)際控制了華卓精科54.23%的股份，為華卓精科的實(shí)際控制人和控股股東。）

同時(shí)華卓精科公司多位董事、核心技術(shù)人員、技術(shù)顧問也是有在清華大學(xué)任職。另外，華卓精科與清華大學(xué)存在較為密切的技術(shù)交流與合作。

雖然以上技術(shù)人員已取得清華大學(xué)兼職批復(fù)，作為兼職人員在華卓精科工作。但是他們的發(fā)明專利仍屬于職務(wù)發(fā)明，其專利所有權(quán)自然是清華大學(xué)和華卓精科共有。

對于共同擁有的 162 項(xiàng)專利，華卓精科也與清華大學(xué)通過協(xié)議約定了發(fā)行人具有該部分專利技術(shù)的獨(dú)占實(shí)施權(quán)，清華大學(xué)具有收益分配的權(quán)利。

編輯：芯智訊-浪客劍